- [根栏目]大家平时讲的十万级净化车间工程是按什么标准设计的2018年06月13日 23:01
- 东莞翔泰净化，十万级净化车间工程标准国以洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。平时大家称呼的十万级净化车间工程标准。
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- [行业动态]净化工程中为何需要严格控制洁净室工程的温湿度2016年08月24日 20:17
- 洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。下面翔泰为您解析为何净化工程洁净室需要严格控制温湿度。 在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨
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