硅芯片净化无尘室的维护应该如何维护
净化室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。翔泰认为净化室的维护主要应该注意以下三点：
1. 建立净化室安全措施综合系统，设置火灾报警、排烟、消防、事故照明等设施，对制剂中使用化学药品、气体的净化室，还应根据腐蚀、爆炸、可燃、自燃、有毒等物品性质采取相应的安全措施。
2. 净化室的维护管理应包括对净化室的空气净化设备、配制制剂中使用的物料、设备和净化室的操作人员等管理。应建立相应的管理制度，明确管理内容方法和责任，执行应有记录。
3.除了依靠使用人员日常管理外，应建立净化室计划检修制度，对净化室空调系统和空气净化设备实行定期检修、保养。
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